久久久精品免费热线观看-久久久精品免费视频-久久久精品视频免费观看-久久久精品午夜免费不卡-亚洲第一区在线观看-亚洲第一色视频

技術文章您的位置:網站首頁 >技術文章 > 無塵無氧烘箱在晶圓級封裝工藝的應用

無塵無氧烘箱在晶圓級封裝工藝的應用

更新時間:2023-03-20   點擊次數:776次

無塵無氧烘箱在晶圓級封裝工藝的應用

晶圓級封裝工藝流程:


1、涂覆第一層聚合物薄膜,以加強芯片的鈍化層,起到應力緩沖的作用。聚合物種類有光敏聚酰亞胺(PI)、苯并環丁烯(BCB)、聚苯并惡唑(PBO)。


2、重布線層(RDL)是對芯片的鋁/銅焊區位置重新布局,使新焊區滿足對焊料球最小間距的要求,并使新焊區按照陣列排布。光刻膠作為選擇性電鍍的模板以規劃RDL的線路圖形,最后濕法蝕刻去除光刻膠和濺射層。


3、涂覆第二層聚合物薄膜,是圓片表面平坦化并保護RDL層。在第二層聚合物薄膜光刻出新焊區位置。


4、凸點下金屬層(UBM)采用和RDL一樣的工藝流程制作。


5、植球。焊膏和焊料球通過掩膜板進行準確定位,將焊料球放置于UBM上,放入回流爐中,焊料經回流融化與UBM形成良好的浸潤結合,達到良好的焊接效果。


  以上聚合物薄膜工藝中的PI/BCB/PBO聚合物固化過程中無塵無氧烘箱是必要的生產設備。

無塵無氧烘箱技術要求:


溫度范圍:RT+50~350/450/550℃

工作室尺寸(cm):W50×D50×H50;可定制

氧含量指標:≤ 50ppm ,實時檢測

潔凈度:class100/1000

控溫方式:曲線升溫模式;

控溫段數:多段數,多工藝;

氮氣控制:可調式氮氣流量計,全程通氮氣。

輔助降溫:風冷/水冷等快速降溫裝置


真空無塵無氧烘箱

溫度范圍:RT+50~350/450/550℃

工作室尺寸(cm):W50×D50×H50;可定制

氧含量指標:≤ 50ppm,實時檢測

潔凈度:class100/1000

控溫方式:曲線升溫模式;

控溫段數:多段數,多工藝;

氮氣控制:可調式氮氣流量計,全程通氮氣。

輔助降溫:風冷/水冷等快速降溫裝置

真空度:1torr

真空泵:渦旋無油泵


分享到:

返回列表返回頂部
COPYRIGHT @ 2016 網站地圖    滬ICP備16022591號-1   

上海雋思實驗儀器有限公司主營產品:無氧化烘箱,精密熱風烘箱,晶元烘箱,百級氮氣烤箱,無氧烤箱
地址:上海奉賢柘林工業區3213號

環保在線

推薦收藏該企業網站
主站蜘蛛池模板: 日韩免费视频| 日韩免费视频| 亚洲高清资源在线观看| 亚洲春色在线播放| 亚洲特级片| 日本一区二区三区在线播放| 日韩精品 欧美| 亚洲国产一区二区三区在线观看| 青青青视频精品中文字幕| 亚洲视频在线免费看| 婷婷人人爽人人爽人人片| 天天操中文字幕| 欧美成人亚洲| 欧美色视频免费高清播放| 亚洲好视频| 日本福利一区二区| 亚洲午夜精品久久久久久成年| 午夜影院在线观看视频| 亚洲国产日韩欧美在线a乱码| 色呦呦免费视频| 色国产精品一区在线观看| 日本三级2019| 欧美性天天影院| 青草视频免费在线观看| 欧美性a欧美在线| 亚洲综合欧美在线| 亚洲精品毛片久久久久久久| 性久久久久久| 青青在线视频观看| 日韩一区二区不卡| 亚洲精品国产不卡在线观看 | 三级黄色在线视频| 天天精品视频在线观看资源| 小xav导航福利网址| 亚洲午夜久久久久久91| 一级毛片www| 亚洲精品免播放器在线观看| 亚洲精品mm1313久久| 欧美日韩1区2区| 日韩麻豆国产精品欧美| 欧美亚洲国产日韩|