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HMDS烤箱,HMDS真空烘箱
HMDS烤箱,HMDS真空烘箱

HMDS烤箱,HMDS真空烘箱將HMDS氣相沉積至半導(dǎo)體制造中硅片、砷化鎵、鈮酸鋰、玻璃、藍寶石、晶圓等材料表面后,經(jīng)系統(tǒng)加溫可反應(yīng)生成以硅氧烷為主體的化合物。

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HMDS預(yù)處理系統(tǒng)(JS-HMDS90 )-真空烘箱
HMDS預(yù)處理系統(tǒng)(JS-HMDS90 )-真空烘箱

HMDS預(yù)處理系統(tǒng)(JS-HMDS90 )是將“去水烘烤“和HMDS處理放在同一道工藝,同一個容器中進行,晶片在箱內(nèi)先經(jīng)過100℃-200℃的去水烘烤,再進行HMDS處理,不需要從箱內(nèi)傳出,而接觸到空氣,晶片吸收水分子的機會大大降低,所以有更好的處理效果。

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智能型HMDS真空系統(tǒng)(JS-HMDS90-AI)
智能型HMDS真空系統(tǒng)(JS-HMDS90-AI)

智能型HMDS真空系統(tǒng)(JS-HMDS90-AI)將HMDS氣相沉積至半導(dǎo)體制造中硅片、砷化鎵、鈮酸鋰、玻璃、藍寶石、晶圓等材料表面后,經(jīng)系統(tǒng)加溫可反應(yīng)生成以硅氧烷為主體的化合物。它成功地將硅片表面由親水變?yōu)槭杷涫杷珊芎玫嘏c光刻膠結(jié)合,起著偶聯(lián)劑的作用。

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智能型HMDS系統(tǒng)真空泵,HMDS涂膠機干泵
智能型HMDS系統(tǒng)真空泵,HMDS涂膠機干泵

智能型HMDS系統(tǒng)真空泵,HMDS涂膠機干泵密封設(shè)計(電機和所有軸承與真空環(huán)路*隔開)延長了軸承的使用壽命, 還可提供潔凈、無油的真空條件。可選的集成入口保護閥內(nèi)置于泵模塊中, 可根據(jù)需要使用,不會額外增加泵的高度。

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智能型HMDS涂膠機,自動HMDS涂膠鍍膜機
智能型HMDS涂膠機,自動HMDS涂膠鍍膜機

智能型HMDS涂膠機,自動HMDS涂膠鍍膜機也稱為HMDS處理,是用于使晶片表面呈疏水性的處理。

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HMDS增粘裝置,涂敷HMDS增粘劑的裝置
HMDS增粘裝置,涂敷HMDS增粘劑的裝置

HMDS增粘裝置,涂敷HMDS增粘劑的裝置通過對箱體內(nèi)預(yù)處理過程的工作溫度、處理時間、處理時保持時間等參數(shù)的控制可以在硅片、基片表面均勻涂布一層HMDS,增加了HMDS處理后的硅片接觸角,降低了光刻膠的用量,提高光刻膠與硅片的黏附性。

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HMDS涂膠機,智能型HMDS涂 膠機
HMDS涂膠機,智能型HMDS涂 膠機

HMDS涂膠機,智能型HMDS涂 膠機將HMDS涂到半導(dǎo)體制造中硅片、砷化鎵、鈮酸鋰、玻璃、藍寶石、晶圓等材料表面后,經(jīng)烘箱加溫可反應(yīng)生成以硅氧烷為主體的化合物。它成功地將硅片表面由親水變?yōu)槭杷涫杷珊芎玫嘏c光刻膠結(jié)合,起著偶聯(lián)劑的作用。

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