不銹鋼無塵烤箱,雙層無塵烘箱應用于目前關鍵的半導體電子行業(如硅片干燥,堅膜烘烤,裝片機后道烘烤,塑封后烘烤,治具烘烤等),另外,雙層無塵烘箱還在LED制造行業中用于烘烤玻璃基板、無機材料行業中用于材料高精度工序。
不銹鋼無塵烤箱,雙層無塵烘箱應用范圍
不銹鋼無塵烤箱應用于目前關鍵的半導體電子行業(如硅片干燥,堅膜烘烤,裝片機后道烘烤,塑封后烘烤,治具烘烤等),另外,雙層無塵烘箱還在LED制造行業中用于烘烤玻璃基板、無機材料行業中用于材料高精度工序。也適用于電子液晶顯示、LCD、CMOS、IC、MEMS、智能傳感器、醫藥、實驗室等生產及科研部門;也可用于非揮發性及非易燃易爆物品的干燥、熱處理、老化等其他高溫試驗。
不銹鋼無塵烤箱,雙層無塵烘箱技術性能
內腔尺寸:300*300*300;450*450*450;500*600*700;800*800*900......定制尺寸;?
腔體數量:1-8個可選,每腔單獨控制;?
材質:內箱:SUS304不銹鋼或SUS316不銹鋼,外箱材質:冷軋板噴塑,或304不銹鋼;?
操作系統:LED數字控制,多彩觸摸屏式控制,人機界面+PLC控制,自動化智能控制(MES)等;?
無塵等級:Class 100;
無氧功能:≤20PPM;?(選配)
輔助降溫功能:風冷、水冷;?(選配)
工業智能系統:MES系統、 SECS / GEM系統;?(選配)
掃碼槍: 作業時掃碼可實現自動調取所需作業程序;?
溫度范圍:RT+10~200、300℃、450℃;
溫度均勻度:≤±2%℃;
溫度波動度:±0.5℃(空載);
溫控精度:±0.1℃;
進氣口:φ8mmN2進氣;
排風口:耐高溫不銹鋼排風口;
電源:380v , 50Hz三相五線制。